uf200探針臺是一種用于生物學(xué)領(lǐng)域的電子測量儀器，專為通用邏輯裝置而設(shè)計(jì)，支持對8英寸及8英寸以下晶圓進(jìn)行自動測試，支持200um薄片的測試，測試溫度范圍從室溫到150度。它不僅繼承了UF200的基本概念，同時進(jìn)一步采用了新技術(shù)的架構(gòu)。可以提供晶圓OCR自動識別，自動控制、與測試機(jī)聯(lián)動對8英寸及8英寸以下晶圓進(jìn)行自動測試的篩選。
 

　　一、產(chǎn)品特點(diǎn)：
 

　　1、它可執(zhí)行5至8英寸晶圓的傳輸與針測。
 

　　2、采用和UF2000相同的MMI。
 

　　3、多種選擇，可達(dá)成所有非業(yè)界標(biāo)準(zhǔn)種類的晶圓針測。
 

　　4、增加生產(chǎn)量和生產(chǎn)率；
 

　　5、減少的應(yīng)用程序的要求或測試時間短的大量測試成本；
 

　　6、40%-50%增進(jìn)系統(tǒng)的吞吐量和降低生產(chǎn)成本。
 

 

　　二、uf200探針臺使用方式：
 

　　1、將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門控制開關(guān)，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。
 

　　2、使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。
 

　　3、顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點(diǎn)，再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測點(diǎn)在顯微鏡視場中心。
 

　　4、待測點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測點(diǎn),此時動作要小心且緩慢，以防動作過大誤傷芯片，當(dāng)探針針尖懸空于被測點(diǎn)上空時，可先用Y軸旋鈕將探針前進(jìn)少許，再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針，最后則使用X軸旋鈕左右滑動，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經(jīng)接觸。
 

　　5、確保針尖和被測點(diǎn)接觸良好后，則可以通過連接的測試設(shè)備開始測試。

　　三、設(shè)備還有以下選項(xiàng)：
 

　　1、針測環(huán)境可接納高溫至低溫；
 

　　2、英寸晶圓探測環(huán)境；
 

　　3、樞紐型機(jī)械手臂是為了針測端而設(shè)計(jì)；
 

　　4、封裝與超薄晶圓的傳輸是經(jīng)由特殊傳輸機(jī)制；
 

　　5、SEMS是經(jīng)由特殊機(jī)制傳輸；
 

　　6、微小電流針測環(huán)境；
 

　　7、高壓電針測環(huán)境；
 

　　8、廣泛多樣的網(wǎng)絡(luò)環(huán)境；
 

　　9、探針追蹤檢查功能。