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射頻探針臺,12英寸全自動射頻探針臺設計有五個單獨的托盤，可按人體工學方式手動裝載150、200或300毫米的“模型”晶圓。
全自動| FAB廠生產線常用探針臺采用新開發(fā)的專有XY驅動系統(tǒng)，實現(xiàn)了高速，低振動。
全自動探針臺,FAB廠生產線常用探針臺采用新開發(fā)的專有XY驅動系統(tǒng)，實現(xiàn)了高速，低振動。$n與現(xiàn)有產品相比，考慮到環(huán)境因設計變化而實現(xiàn)的占地面積小，功耗降低10％
高功率探針臺,半自動探針臺用于在寬 -60°C 至 +300°C 的溫度范圍和寬 3 kV （三軸） / 10 kV （同軸） 和 600 A 測量范圍的晶圓#HighPower 對高功率芯片特性進行測試。系統(tǒng)可以選擇在薄晶片或TAIKO晶圓上進行測試。半自動高功率探針臺|